摘要
柔性和可拉伸的软设备被认为是从可穿戴设备到机器人等各种应用的构建模块。在众多构建软器件的候选材料中,碳纳米材料如碳纳米管(CNTs)和石墨烯因其固有的柔韧性、可调谐导电性和大面积加工潜力等突出特性而受到积极研究。特别是,碳纳米管和石墨烯的混合可以提高软器件的性能,并为它们提供新的功能。本文综述了碳纳米管-石墨烯杂化软电极、晶体管、压力和应变传感器和致动器的研究进展,重点介绍了碳纳米管和石墨烯杂化的协同效应对这些器件性能的提高。多维异构碳纳米材料的集成有望成为加速高性能软器件发展的一种有前途的途径。最后,总结了当前的挑战和未来的机遇,从混合材料的加工到多部件的系统级集成。
简介
由六方晶格组成的碳纳米材料2-杂化碳原子在各个应用领域的可扩展生产已被积极研究[1,2].根据其维度形状,它们被分为一维(1D)碳纳米管(CNTs)和二维(2D)石墨烯。碳纳米管和石墨烯表现出优异和独特的性能,使它们成为电子、显示器、传感器和其他设备的有吸引力的候选材料。特别是,CNTs的高弹性模量、强度和纵横比以及高导电性,使其具有机械强度和导电性能的复合材料具有各种潜在应用价值[3.,4].通过在微结构的特定位置集成对齐的CNTs, CNTs的这些特性也被用于微机电器件[5,6,7,8,9,10].碳纳米管的加入提高了结构和器件的性能和可靠性。鉴于碳纳米管的特性,人们预期并最终发现石墨烯也具有非凡的机械、电、热和光学性能[11,12].在石墨烯许多有趣的特性中,它的高载流子迁移率优于其他材料,这加速了碳纳米电子学的发展[13].此外,由于碳纳米管和石墨烯的原子直径或厚度不同,它们都可以作为单层透明器件的关键成分,同时提供较高的机械依从性[14,15].这些特性促进了基于一维碳纳米管或二维石墨烯作为构建单元的软透明电子、传感器和执行器的发展。
制造工艺不断发展,以扩大单个碳纳米管和石墨烯在功能器件中的优异性能。随着合成、集成和转移过程的进展,基于碳纳米材料的器件获得了更高的设计自由度,包括在基板材料的选择上。因此,传统的刚性基板可以被橡胶和许多聚合物等弹性体基板所取代,这导致了可穿戴电子产品和传感器的积极发展,基于薄而软的基板的低抗弯刚度,可共形安装在曲面上[16,17,18,19].此外,将碳纳米管和石墨烯加入到聚合物材料中,可以通过电和化学刺激实现需要大变形的软驱动器[20.].由碳纳米材料组成的软传感器和执行器有望应用于未来的可穿戴设备、可植入设备和人机界面。通过异构集成多维纳米材料,可以进一步提高软器件的性能,如前所述,将一维碳纳米管和二维石墨烯结合用于电子、光电子、机电和电化学器件[21,22,23,24,25].碳纳米管和石墨烯具有紧密的晶格结构,有利于在形成异质结构时减少接触电阻并增强机械强度[26].因此,除了它们自身的性能外,一维碳纳米管和二维石墨烯的混合可以协同提高目标器件的性能和性能,否则均质材料无法达到这一效果。因此,碳纳米管-石墨烯混合材料是实现柔性、可拉伸和透明器件的一个有吸引力的选择,从而提供新的功能,并导致相对于传统器件更好的性能和可靠性。
本文综述了基于碳纳米管-石墨烯杂化的软电子、传感器和执行器的进展,强调了碳纳米材料的异构集成在器件性能方面的优点(图1)。1).由于性能的提高取决于碳纳米管-石墨烯杂化材料的特性,本文讨论了碳纳米管-石墨烯杂化膜的特性,以及它们作为二元增强填料的协同效应。此外,我们综述了由碳纳米管-石墨烯组成的柔性和可拉伸电子器件,该器件可以集成在一起操作和控制软传感器和执行器。此外,还讨论了用于检测压力和应变变化的软物理传感器的碳纳米管-石墨烯混合材料,重点是灵敏度和传感范围的改进。最后,详细讨论了碳纳米管-石墨烯复合材料及其网络作为核心元件在电化学和电热软致动器中的应用。最后,我们总结了由其他纳米材料组合以及碳纳米材料杂化组成的软器件领域的当前挑战和未来展望。
碳纳米管(CNT)-石墨烯增强软结构
碳纳米管和石墨烯优越的材料性能,如其高杨氏模量和抗拉强度,使它们成为各种机电应用的良好基石。其广泛的结构应用包括软基上的薄膜和增强聚合物复合材料,用于各种类型的软电子产品、传感器和执行器。碳纳米管基结构的力学性能已经在许多研究中进行了实验测量。实验测量的cnt族材料的杨氏模量在4.7 GPa到1 TPa之间,这取决于结构材料的尺寸规模和测量方法[32,33].这些碳纳米管结构材料的抗拉强度范围为71 MPa至200 GPa。通常通过使用原始的单个纳米尺度样品获得非凡的力学性能。然而,对于放大的宏观结构,允许碳纳米管的实际和可制造使用,材料的性能通常要小一到两个数量级。这主要是因为材料之间的相互联系和微观结构的特性决定了材料放大成宏观形式时优越的内在性能,导致宏观尺度上整体结构的力学性能恶化。为了克服这一问题,人们做出了努力,并开发了某些技术,以在宏观尺度上提高材料的性能[34,35].石墨烯在各种应用方面引起了人们的极大兴趣,其材料性能已在许多结构形式中得到广泛测试。报道了在原子力显微镜装置中通过纳米压痕测量单层石墨烯的1tpa杨氏模量[36].尽管如此,石墨烯的杨氏模量在实际宏观尺度的块状材料配置中可降低至31.7 GPa,如纸张形式[37].实验报告表明,石墨烯的抗拉强度可以在223到130 GPa之间[36,38].
迄今为止,已经有许多关于碳纳米管和石墨烯增强材料的学术探索和技术努力,旨在为软器件(电子、传感器和执行器)找到优越的结构。这些尝试可以分为许多纳米和微结构,但碳纳米管-石墨烯杂化薄膜和碳纳米管-石墨烯填料增强复合材料基质[39是两种被广泛开发的结构材料。碳纳米管-石墨烯杂化膜已被广泛测试,以探索、验证和利用其协同尺寸和几何效应。据报道,碳纳米管-石墨烯杂化膜的杨氏模量远远高于超对齐碳纳米管膜的杨氏模量。例如,据报道,由碳纳米管-石墨烯混合薄膜获得的杨氏模量(2.34 GPa)比超对齐碳纳米管薄膜(0.35 GPa)大一个数量级[40].与碳纳米管纳米填料相比,石墨烯填料通常对基体材料具有优越的机械强度[41].纳米碳纳米管-石墨烯杂化纳米填料对复合材料力学特性的协同效应最近得到了探索[42].通过将碳纳米管和石墨烯纳米片结合并优化混合比例,人们已经在努力提高力学性能[43].其他人报道称,在天然橡胶中加入碳纳米管-石墨烯混合物作为填料,其抗拉强度几乎翻了一番[44].
软电子
电子元件是传感器工作的关键部件,如信号传输、电源、控制等。为了实现软传感器和执行器,应考虑电子材料的机械柔性/可拉伸性及其电学性能。金属和掺杂硅薄膜(最广泛使用的电子材料)由于不够灵活,不适合用于这种器件。因此,开发柔性和可拉伸电子材料已成为近几十年来的一个重要研究课题。由于碳纳米管和石墨烯具有优异的电子和机械性能,近年来随着生产技术的进步,许多研究都以利用碳纳米管和石墨烯作为软电子材料的导体或半导体通道为目标。基于单层石墨烯的可拉伸电极具有高断裂应变电阻和低薄片电阻[14].同样,半导体碳纳米管的高迁移率和开关比使其成为软电子产品的优良有源通道材料[46].最近,利用碳纳米管-石墨烯杂化物开发出了柔性和可拉伸电子材料,因为一维-二维异质结构提供了新的特性,如范德华相互作用、增强的机械强度,以及形成有效的渗透网络,从而显著改善了电学和机械性能[23,24,47].
碳纳米管-石墨烯杂化物的一个很有前途的应用是作为柔性和可拉伸的电极。柔性和可拉伸电极必须在不显著改变其电传输特性的情况下,在相当大的应变水平上保持电导率。一维金属碳纳米管和二维石墨烯的组合是实现这些属性的理想选择;因此,在开发基于碳纳米管-石墨烯混合材料的柔性和可拉伸电极方面进行了广泛的研究[45,48,49,50,51,52].将碳纳米管和石墨烯同时放置在塑料或聚合物基板表面是利用混合结构作为电极的一种策略。Nguyen等人开发了一种用于柔性电极的碳纳米管-石墨烯杂化薄膜[49].石墨烯薄膜通过化学气相沉积(CVD)生长,并使用相同的CVD方法在石墨烯表面合成碳纳米管的薄网络。碳纳米管-石墨烯杂化膜的片电阻要低得多(420 Ω平方英尺)−1)比石墨烯薄膜(2.15 kΩ平方英尺−1).导电性的显著提高归因于碳纳米管网络的形成,该网络通过石墨烯片之间的π - π相互作用连接了石墨烯片之间的间隙和低接触电阻。并对其机电性能进行了研究。结果表明,在150°弯曲角度下,经过100次弯曲循环后,复合膜在聚合物基板上的电阻偏差仅为7.2%,这是由于CNTs以弯曲状态不开裂的方式延伸造成的。另一种碳纳米管-石墨烯混合电极是碳纳米管-石墨烯-弹性体纳米复合材料。如图所示。2a,基于碳纳米管−石墨烯-聚二甲基硅氧烷(PDMS)纳米复合材料的可拉伸电极是通过碳纳米管−石墨烯填料与PDMS基质的溶液混合制成的,然后研究了填料组分的导电性和可拉伸性[45].一维-二维互连的协同效应阻止了碳纳米管的聚集和石墨烯的堆积,降低了它们之间的接触电阻,导致填充分数为0.6% (6.17 × 10)的纳米复合材料具有更高的导电性−3年代厘米−1)与CNT-PDMS或石墨烯-PDMS复合材料相比(< 1.85 × 10−3年代厘米−1).此外,由于CNTs的高展弦比及其与石墨烯的均匀分散,纳米复合材料在拉伸至60%时仍保持其导电性。
基于碳纳米管-石墨烯杂化的柔性和可拉伸晶体管也得到了积极的研究[21,53,54,55,56,57,58].在信号处理和控制电路中工作的晶体管是电子器件的重要组成部分,而晶体管的所有组件必须具有柔韧性或可拉伸性,才能在软电子设备中充分发挥功能。一种广泛使用的晶体管是场效应晶体管(FET),它包括有源通道、电极和栅介质。迄今为止,采用各种半导体和金属纳米材料的柔性和可拉伸fet已经被探索出来。采用碳纳米管-石墨烯混合材料的fet与其他纳米材料基fet相比有几个独特的优势。Yu等人开发了柔性衬底上的纳米碳基晶体管,并报道了其突出的特性[21].该装置是由碳纳米管网络通道,单层石墨烯电极和Al2O3.介质(无花果。2b).作者发现,碳纳米管-石墨烯的接触电阻比碳纳米管-金的低100倍。这是由于碳纳米管-石墨烯的功函数差异较小,这使得碳纳米管-石墨烯晶体管表现出20倍的迁移率(81厘米)2V−1年代−1).弯曲试验时电导率没有明显的下降,拉伸(50%应变)时电阻变化为36%。其变化明显小于氧化铟锡(5%应变2000%)和石墨烯(30%应变200%)。几年后,该团队开发了可拉伸碳纳米管−石墨烯晶体管[54].在那项研究中,一个几何上布满皱纹的阿尔2O3.采用含有有效内置气隙的层来实现可拉伸性。可拉伸的褶皱结构提供了介质在拉伸应变下的稳定性,即不同于平面结构。因此,晶体管成功地在高应变(20%)下工作,没有明显的泄漏电流或物理退化。为了验证晶体管的潜在效用,它们被安装在不同的介质上,如人的皮肤、铝箔和塑料心脏。这些结果表明,碳纳米管-石墨烯晶体管是一个有前途的候选操作软传感器和执行器。
软传感器
可穿戴电子产品,包括人造电子皮肤,在各种应用方面引起了相当多的关注,例如在人体运动检测和生理监测方面[62,63,64,65,66,67].柔性和可拉伸的物理传感器是此类应用的关键组件,机械柔韧性/可拉伸性、高灵敏度、快速响应时间和可重复性被认为是重要的要求[68].然而,基于薄膜和纳米线的传统物理传感器在实际应用中表现出不足的性能,例如传感范围狭窄和/或灵敏度低[69,70,71,72].近年来,碳纳米管和石墨烯被引入作为传感材料,制备传感范围宽、灵敏度高的柔性物理传感器[73,74,75,76,77,78,79,80,81,82,83,84].基于碳纳米管的物理传感器具有较高的灵活性,但灵敏度较差。相比之下,使用石墨烯的柔性物理传感器在灵敏度上表现出强度,尽管传感范围有限。因此,碳纳米管-石墨烯杂化结构可以提供由石墨烯和碳纳米管之间的相互连接诱导的协同电网络,从而获得优越的拉伸性能和高灵敏度[85,86,87,88,89,90].
基于碳纳米管-石墨烯复合材料的柔性物理传感器分为压力传感器和应变传感器。Jian等人展示了一种使用对齐的碳纳米管和石墨烯杂化材料的柔性压力传感器[59].在他们的研究中,对齐的CNTs与石墨烯形成网络,从而增强了导电性(图1)。3.a).使用传统的CVD工艺从垂直合成的碳纳米管束中制备对齐的碳纳米管,然后从制备的对齐碳纳米管薄膜上的铜(Cu)箔中生长石墨烯。制备的纳米碳纳米管-石墨烯排列薄膜具有81.4% (550 nm)的良好透光率和19.8 kPa的高灵敏度−1(< 0.3 kPa),因为在同一方向的对齐增加了电导,提供了非常低的检测压力水平(0.6 Pa)和超过35000次循环的优越稳定性。碳纳米管-石墨烯杂化结构已成为一种非常有吸引力的压力传感器材料;然而,提供一种具有成本效益和简单的方法来制造这些材料仍然是一个具有挑战性的问题。为了克服这一困难,Zhao等人报道了基于多壁碳纳米管(MWCNT)-石墨烯的非对称压力传感器,采用直接激光写入[27].如图所示。3.b,采用激光直写技术形成了多壁碳纳米管和石墨烯的复合结构,提供了方便、高可靠性、高效率和大规模生产的能力。采用激光直接写入的方法,将嵌入mwcnt的聚酰亚胺薄膜石墨化为嵌入mwcnt的激光诱导石墨烯。该传感器具有2.41 kPa的高灵敏度−1低检测限1.2 Pa,响应恢复时间快2 ms。Tran等人介绍了一种由3d喷涂的碳纳米管-石墨烯组成的量子电阻式压力传感器,显示出非常大的压力灵敏度范围(0-8 MPa) [91].因此,这些柔性压力传感器显示出良好的应用潜力,如人造皮肤。
除了柔性压力传感器外,碳纳米管-石墨烯复合材料也被广泛用于柔性可穿戴应变传感器。Yao等人报道了一种基于电子纺织品的可穿戴可洗应变传感器,该传感器由与无纺布相结合的碳纳米管还原氧化石墨烯(rGO)杂化物组成[60].许多将碳纳米管-石墨烯与纺织品相结合的研究被提出用于电子纺织品传感器,但这些方法有一些缺点(例如,需要额外的有害处理或特定的实验条件,和/或显示碳纳米管-石墨烯与纺织品之间的粘附性较弱)。因此,采用超声波纳米焊接方法制备了一种基于纳米碳纳米管的耐洗、耐用、可穿戴电子纺织品传感器,使纳米碳纳米管与无纺布之间具有很强的粘附性(图1)。3.c).以往的柔性应变传感器一般用于测量单向应变,在应用上存在局限性。可用于各种应用的柔性应变传感器需要多向传感、高灵敏度和广泛的检测范围。Chen等人展示了一种蜘蛛网状的3d打印柔性应变传感器,该传感器使用导电聚合物复合材料构建,包括mwcnts -石墨烯纳米薄片[61].该传感器具有较大的应变范围(0%-300%)、良好的线性度、测量系数超过1000和良好的稳定性(图1)。3.d). Li等报道了通过喷涂制备的石墨烯纳米片和碳纳米管形成分层混合网络。通过将柔性可穿戴应变传感器应用于人的手指和前颈部区域,证实了这一点[92].一般来说,引入碳纳米管后石墨烯的灵敏度提高,可以检测到细微的运动。还有一些应变传感器使用多孔PDMS与碳纳米管-石墨烯作为混合填料,使用索氏提取方法控制灵敏度和可拉伸性[28].因此,基于cnt -石墨烯- pdms的应变传感器在可穿戴智能电子产品中显示出了前景。
柔软的致动器
软执行器在软机器人和仿生学中发挥着关键作用,在可穿戴和柔性电子设备、机器人外骨骼和假肢、人工器官和植入式医疗设备方面具有更广泛的影响。随着驱动机理的不断进步,人们积极探索具有独特物理和化学特性的创新材料。碳基纳米材料以其优异的电学和力学性能、高的表面体积比和轻的比而闻名;这些方面对于构建高性能软执行器是至关重要的。据报道,碳纳米管/石墨烯杂化复合材料可以提供这种材料性能的协同增强,甚至可以获得更大的驱动应变、更快的响应时间、更高的稳定性和耐久性。
离子聚合物金属复合材料(IPMC)作动器是一种电化学-机械作动器,由离子聚合物层组成,其两侧涂有导电层(图1)。4a).当电势加到导电层上时,离子迁移和再分布发生。这导致了导电层的不对称体积膨胀和随之而来的结构变形。由于碳纳米管/石墨烯复合材料在用作导电层时比金属具有优势,因此已经报道了不同的结构设计和制造工艺。Yang等人在Nafion膜上使用电喷涂MWCNT/石墨烯混合物和羧甲基纤维素制备离子聚合物致动器[95].与采用铂电极的传统IPMC致动器相比,MWCNT/石墨烯致动器实现了更大的致动位移±2.33 mm。石墨烯在mwcnts /石墨烯复合材料中比例的增加导致驱动位移减小,基频增大,分别是由于电阻和机械刚度的增加。Lu等人发现还原氧化石墨烯/MWCNT杂化物具有多孔结构,并表现出更有效的电化学充放电特性(图1)。4b) (93].在0.1 ~ 1hz的频率范围内,使用还原氧化石墨烯/多壁碳纳米管混合制备的电化学致动器比只使用还原氧化石墨烯或多壁碳纳米管的致动器具有更大的弯曲位移,即使在10赫兹之后也没有明显的性能退化迹象6周期。为了进一步增加导电层的比表面积,以促进更快的离子扩散和更高的电化学响应,以改善驱动性能,合成了基于rGO/ mwcnt的三维分层纳米结构,并适用于离子执行器。rGO/MWCNT杂化膜表面垂直排列NiO纳米壁,实现了大位移和快速响应(18.4 mm峰间弯曲变形在10 Hz),长期稳定性超过5 × 105周期(96].垂直生长的多壁碳纳米管尖端有Ni点的还原氧化石墨烯薄片(图。4c)也表现出显著的性能增强,弯曲应变、阻塞力和循环持续时间分别为6.59 mm、4.53 mN和4 h [30.].

版权归约翰·威利父子所有。b扫描电子显微镜(SEM)图像显示了rGO/MWCNT混合层的多孔表面结构和不同导电材料在0.01 ~ 1hz频率范围内的弯曲驱动位移。经许可转载[93].版权所有,2012年,约翰·威利和儿子。c石墨烯-碳纳米管-镍(G-CNT-Ni)异质结构的制备工艺。经许可转载[30.].版权所有2017年,约翰·威利和儿子。d螺旋碳纳米管/还原氧化石墨烯杂合纱:工作原理示意图,显示纱线结构的扫描电镜图像,以及测试装置说明。经许可转载[94].版权所有2018年,约翰·威利和儿子。e说明氧化石墨烯(GO)-碳纳米管/PDMS双分子膜在光和温度刺激下的弯曲和恢复驱动,以及不同方向排列的氧化石墨烯图案控制的弯曲行为。经许可转载[29].版权2018,美国化学学会
一个离子聚合物金属复合材料(IPMC)执行器的工作机制说明。经许可转载[20.].
碳纳米管人工肌肉是另一种能产生扭转或拉伸运动的电化学驱动器,具有很高的能量转换效率和可控性。碳纳米管纱线是碳纳米管人工肌肉的主要组成部分,可通过充满电解的碳纳米管扭纺制备。与IPMC执行器类似,离子在施加电压时迁移并填充电双层(图。4d).这会导致纱线的体积膨胀,导致解扭和收缩。碳纳米管纱线的电容是决定其驱动性能的关键因素之一,石墨烯的加入可以提高其电容。Qiao等人使用生物滚轮法制备了螺旋碳纳米管/还原氧化石墨烯杂化纱。纱线在无机水电解质中驱动,最大拉伸收缩为8.1%,收缩应力为16 MPa,工作容量为236 J/kg [94].同样,Hyeon等人制备了含有80 wt%石墨烯的螺旋石墨烯/CNT纱,记录了一个数量级的拉伸行程和工作容量分别为~ 19%和2.6 J/g [97].
碳质纳米材料及其复合材料由于其优异的电、热和机械性能,是柔性加热元件的有前途的候选材料。Wang等人将碳纳米管和氧化石墨烯(GOs)集成到聚乙烯醇基体中,自旋复合纤维[98].当对光纤施加电压时,单壁碳纳米管/氧化石墨烯网络产生热量,光纤发生热膨胀。另一种由具有不同热膨胀系数的双层膜组成的热驱动器可以产生更复杂的运动(图。4e) (29].将碳纳米管/PDMS混合物自旋涂覆在氧化石墨烯层上,得到GO-CNT/PDMS双层结构。当暴露在光或热下时,膜向氧化石墨烯层弯曲,也对水分变化有反应。通过将氧化石墨烯层按不同方向排列成条状来控制弯曲,并演示了各种软机器人应用,如智能镊子和卷须。
结论
软电子、传感器和执行器有望成为机器人、可穿戴设备和可植入设备的基本组件,因为这些设备可以根据其灵活性和可拉伸性与任意结构和表面集成。在目前开发的许多材料和结构中,多维碳纳米材料的杂化材料显示出了巨大的潜力,因为它们具有适合于软器件的引人注目的特性。与传统金属或半导体相比,将碳纳米材料集成到弹性体中还将提供新的功能,例如透明度。此外,碳纳米管和石墨烯的混合物可以相互补充,从而提高器件性能,例如在灵敏度、传感范围和驱动位移方面。因此,基于碳纳米管-石墨烯混合材料的器件性能优于其他同质材料。纳米材料的混合不仅限于碳纳米管和石墨烯;多维材料的其他组合,如一维金属纳米线和二维半导体过渡金属二卤代化物,可以设计为新的器件结构和功能。
除了碳纳米复合材料软器件取得的可观成就外,未来的工作还面临着一些挑战和机遇。从材料的角度来看,在可扩展和低成本生产过程中控制碳纳米管和石墨烯的缺陷和壁或层数可能会扩大碳纳米材料的适用性。此外,在金属碳纳米管和半导体碳纳米管之间提供有效和简单的净化将提高碳基晶体管的性能,并有助于其他应用,如透明导体和电磁波屏蔽。就软装置的性能而言,改进的结构和电子设计将使高密度传感器阵列能够测量和处理多重刺激而不存在串扰,并使执行器能够产生高分辨率的大位移和力。要实现一个独立的软设备,将所有组件(如电子、传感器和执行器)集成到一个系统中的制造和包装过程的开发是另一个重要的挑战。柔性和可拉伸的储能装置和无线通信模块也可以集成到这种软系统中。总之,通过跨学科的努力,由碳纳米材料混合材料组成的高性能、可靠和生物兼容的软器件将可用于许多领域,以应对这些挑战。
数据和材料的可用性
不适用。
缩写
- 1 d:
-
一维
- 2 d:
-
二维
- 问:
-
碳纳米管
- 心血管疾病:
-
化学气相沉积
- PDMS:
-
聚二甲硅氧烷
- 场效应晶体管:
-
场效应晶体管
- MWCNT:
-
多壁碳纳米管
- 走:
-
石墨烯氧化物
- rGO:
-
还原氧化石墨烯
- IPMC:
-
离子聚合物金属复合材料
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确认
不适用。
资金
本研究由韩国国家研究基金(NRF)的基础科学研究计划(Basic Science research Program)支持,由科学ICT和未来规划部(2022R1A2C4001577)和韩国政府(MSIT) (2020R1G1A1099812)资助。本研究还得到了韩国产业技术研究院的“Lens制造中的在线实时监控系统(KITECH JH-22-0018)”和韩国机械材料研究院的研究所项目(NK238E)的支持。
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作者和隶属关系
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所有作者都对稿件的撰写和编辑做出了贡献。所有作者阅读并批准了最终稿件。
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关于本文
引用本文
Pyo, S., Eun, Y., Sim, J。et al。用于软电子、传感器和执行器的碳纳米管-石墨烯混合材料。微纳系统莱特10, 9(2022)。https://doi.org/10.1186/s40486-022-00151-w
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DOI:https://doi.org/10.1186/s40486-022-00151-w
关键字
- 碳纳米材料
- 不同种类的材料
- 可伸缩的电子产品
- 可穿戴设备
- 电子皮肤
- 柔软的机器人
- 人造肌肉
- 人机接口